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格科微:成功实现整套ASM光刻机中的关键设备

格科微:成功实现整套ASM光刻机中的关键设备

2022-03-29 13:46:21

日前国产芯片厂商格科微宣布成功实现整套ASML光刻机中的关键设备——先进ArF光刻机的搬入。据格科微表示,目前,格科微洁净室已按计划分阶[详细]

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