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尹志尧:国产半导体设备公司正在开发新一代刻蚀设备

尹志尧:国产半导体设备公司正在开发新一代刻蚀设备

2022-04-18 10:52:33

在今天的年度业绩说明会上,国产半导体设备公司中微董事长尹志尧提到该公司正在开发新一代的刻蚀设备,可用于5nm以下的逻辑工艺、1Xnm的DRA[详细]

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